第14窟與15窟位於雲岡石窟西部最高的位置，東鄰雲岡石窟二期窟的中部石窟群，西毗一期窟的曇曜五窟。雲岡中部石窟群，從第5窟往西，5、6、7、8、9、10等等諸窟，東西相鄰，兩兩形成三組雙窟，前外壁都採雙塔一碑的形制，說明了他們的時間相近。學者以為，這六窟都是孝文帝遷洛之前所規劃營造，屬於雲岡石窟二期窟，大約鑿建營造於北魏文成帝死後，到孝文帝太和十八年（465-494）的這段時間。除此之外，還有第11、12.、13這一組窟，也是屬於雲岡石窟二期窟；研究指出，就窟制與風格而言，可以推論這一組窟的營造年代，大約接近第9、10窟。緊鄰第14窟的第15窟，據研究指出，雖然開鑿於二期窟晚期窟之際，在孝文帝遷洛時期並未完工，而是完工於孝文帝遷洛之後，至遲應該不過正光年間（520-525），如金人曹衍〈大金西京武州山重修大石窟寺碑〉記載雲岡石窟的工程「終於正光」，屬於雲岡石窟三期窟（494-525）。

第16-20窟是雲岡石窟西部石窟群的大型石窟，從第20窟往西的西部石窟，大都是第三期的小型龕窟。這五窟為雲岡石窟鑿建的開端，與文成帝復佛連串活動相關，當時主其事者為沙門統曇曜，又稱為「曇曜五窟」，屬於雲岡石窟一期窟。據《魏書》記載，學者以為，曇曜五窟的開窟時間有二說，一說為北魏文成帝興安初年（454～），另一說為和平初年（460～）；至於營造下限年代，咸認為文成帝死亡之際（465年）。此外，由於當時魏都五級大寺造五像與帝室有關，學者大多認為，曇曜五窟與太祖以下的五帝相互對應，只是彼此對應關係，尚未有定論。 16窟為橢圓形平面、穹隆頂，擬似草廬形式的窟形，南壁開明窗與拱門，北壁鑿雕一身立佛大像，四周壁面的上層雕滿千佛龕，下層則有大小佛龕。立佛螺髮，面容條長，著褒衣博帶式袈裟，階梯狀衣褶起伏平緩，露足立於雙瓣覆蓮臺座。

第16-20窟是雲岡石窟西部石窟群的大型石窟，從第20窟往西的西部石窟，大都是第三期的小型龕窟。這五窟為雲岡石窟鑿建的開端，與文成帝復佛連串活動相關，當時主其事者為沙門統曇曜，又稱為「曇曜五窟」，屬於雲岡石窟一期窟。據《魏書》記載，學者以為，曇曜五窟的開窟時間有二說，一說為北魏文成帝興安初年（454～），另一說為和平初年（460～）；至於營造下限年代，咸認為文成帝死亡之際（465年）。此外，由於當時魏都五級大寺造五像與帝室有關，學者大多認為，曇曜五窟與太祖以下的五帝相互對應，只是彼此對應關係，尚未有定論。 第18窟為橢圓形平面、穹隆頂，擬似草廬形式的窟形，南壁開明窗與拱門，北壁鑿雕一身立佛大像，從外壁的明窗和拱門可以清楚看見立佛像。北壁大像的左右雕有菩薩像一身，東西兩壁還有立佛脇侍；在本尊和脇侍立佛還有菩薩的上方，各有五軀全身或半身的弟子像，弟子像上方還有比丘像。

第16-20窟是雲岡石窟西部石窟群的大型石窟，從第20窟往西的西部石窟，大都是第三期的小型龕窟。這五窟為雲岡石窟鑿建的 開端，與文成帝復佛連串活動相關，當時主其事者為沙門統曇曜，又稱為「曇曜五窟」，屬於雲岡石窟一期窟。據《魏書》記載，學者以為，曇曜五窟的開窟時間有二說，一說為北魏文成帝興安初年（454～），另一說為和平初年（460～）；至於營造下限年代，咸認為文成帝死亡之際（465年）。此外，由於當時魏都五級大寺造五像與帝室有關，學者大多認為，曇曜五窟與太祖以下的五帝相互對應，只是彼此對應關係，尚未有定論。 第20窟的外壁坍崩，只見主要造像與禮佛台；北壁造像為坐佛三尊像，兩旁脇侍菩薩只有局部遺跡，東西兩側有立佛，東側立佛保存良好，西側的風化殘泐。